スーパークリーンルーム
−IT関連分野の生産環境の向上に−

 スーパークリーンルームは、従来のクリーンルームより、さらに
(1)粒径の微小な粒子(0.1μm)を制御できる超清浄空間で、
(2)内装材、設備資機材等から、発生する無機物、有機物を一定濃度以下にコントロールでき、
(3)内部で発生したガス状物質を除去できる性能を備えています。
 また、
(4)生産装置に及ぼす微振動の影響がないように制御できる建物の構造を備えており、生産性の向上に不可欠な技術です。

生産性と生産コストに大きく影響!

■ハザマのスーパークリーンルームの特長
 クリーンルームに要求される高度な生産環境の品質を保証するために設計段階から、省エネルギーとコスト、工期の短縮を考慮しながら、躯体、設備の仕様を十分に検討し、お客様に提案します。
 施工段階では、様々な発注形態において、総合エンジニアリングを発揮して品質、工程などを統括管理します。

1.分子汚染対策
・0.05μmの微細粉塵の計測可
・ガス濃度分析の自社対応体制

3.短工期化
・データベース等で設計迅速対応
・情報化施工管理

5.トータルコストダウン
・ライフサイクルコストでシステム比較提案
・ローコスト工法などのVE提案

2.微振動対策
・具体的な構造モデルを提案
・建物内外の振動源に対する振動予測

4.クリーンアップ統括施工
・クリーンアップ計画書
・クリーンアップ委員会

●6つの「IT対応プロジェクトチーム」による木目細かい対応
 営業、施工、設計・技術開発部門など「営工技一体」の体制。
1.分子汚染対策チーム
2.微振動制御対策チーム
3.短工期対策チーム
4.クリーンアップ施工対策チーム
5.コスト対策チーム
6.市場分析チーム

クリーンルーム技術の適用範囲は、今後もますます拡大します

■スーパークリーンルーム実験室

ガス発生の少ない建材を使用し、
ケミカルフィルタを設置してあります。

施工法の検討、実物大建材試験などに利用します。
■微振動予測システム

基本となるSCRの構造モデルを整備しています。


床上アクセラレンスの検討結果
実測データを用いて精度良く予測します。
■超微粒子・化学汚染ガス測定システム

パーティクルカウンター


粉塵濃度測定結果

気中ガス捕集装置


ガス濃度測定結果
■実 績
・技術プレゼンテーション
・現地実測(微振動測定、分子汚染測定)
・新聞発表
・論文発表
・講演会
41件
5件
10件
5件
1件

■最新の施工事例
産業技術総合研究所 ナノ材料実験棟(仮称) 新築工事
理化学研究所 極微細構造実験棟建築工事
■お問い合せ先
技術・環境本部 技術研究所 技術研究第二部
担当:須山
〒305-0822 茨城県つくば市苅間515-1
TEL:029-858-8811/FAX:029-858-8819
E-mail:info@hazama.co.jp

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